確定極限真空度 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*佳工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 被抽氣體種類(lèi)與抽氣量 檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。 真空容積 檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。 上一篇：熱烈祝賀蘇州曼特萊與常州天合光能有限公司建立合作關(guān)系下一篇：Edwards真空泵維修原理
確定極限真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*佳工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
被抽氣體種類(lèi)與抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
真空容積
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
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