EBARA ESA系列真空泵維修

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產品名稱: EBARA ESA系列真空泵維修

產品型號: ESA25-D

產品展商: EBARA真空泵維修

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簡單介紹

蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESA25-D真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口，物美價廉。歡迎來電垂詢EBARA ESA25-D真空泵維修價格。

EBARA ESA系列真空泵維修 的詳細介紹

EBARA ESA25-D真空泵維修：

ESA系列是新研發(fā)的獨特干式真空泵，具有優(yōu)越的高速排氣性能，從而適應了LCD濺射制膜裝置，真空干燥制程，大型

L/L等工藝要求。并擁有高附加價值，對應氣體負荷自動控制轉速，高通信功能等。
● *適用于大型真空反應室的高速排氣
● 具有高性能通信機能
● 轉速自動調節(jié)功能
● 采用高度控制泵運轉方式
● 采用大口徑轉子，設計上上乘小型
● 不產生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規(guī)格

ESA Series
Specifications	Unit	ESA25S	ESA70W	ESA200W	ESA300W	ESA500W
Pumping Speed 50/60 Hz	CFM	88/106	274/296	706	1060	1766
	L/min	2500/3000	7000/8400	20000	30000	50000
	M3/Hr	150/180	420/504	1200/504	1800	3000
Ultimate Pressure 50/60 Hz	mTorr	3.9810-5/3.0010-5	3.0010-6/2.0310-6	3.97533E-06	4	7.5*10-6
	Pa	5.3/4.0	0.4/0.27	0.53	0.53	1
	mBar	0.053/.04	0.004/0.0027	0.0053	0.0053	0.01
Connection	Gas Inlet	NW 50	NW 50	NW 80	ISO 100	ISO 100
Connection	Gas Outlet	NW 40	NW 40	NW 40	NW 40	NW 50
Power at Ultimate Pressure	KW			3.4	7.3	6.7
Maximum Power	KW			4	12.5	24.1
Cooling Water Requirements	Min. Flow Rate	3.5	3.5	3.5	6	6
Cooling Water Requirements	L/min	3.5	3.5	3.5	6	6
Bearing and Dilution N2	Bearing Seals	11	15	12	5	6
Bearing and Dilution N2	L/min	11	15	12	5	6
Cabinet Dimensions	inches	35.4 x 15.5 x 19.7	39.3 x 15.7 x 31.5	38.2 x 15.7 x 31.9	43.7 x 24.4 x 35.6	60.5 x 24.4 x 41.1
LxWxH	mm	900 x 394 x 500	997 x 400 x 800	970 x 400 x 810	1110 x 620 x 905	1537 x 620 x 1045
Weight	lbs	528	836	902	1543	1650
Weight	kg	240	380	410	700	750

蘇州曼特萊精密電子有限公司主營：
一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原)：ESA系列、EST系列、ESR系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESA25-D真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
蘇州曼特萊精密電子有限公司熱忱歡迎您的到來，歡迎來電垂詢EBARA ESA25-D真空泵維修價格。

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